產(chǎn)品類(lèi)型
EUV和VUV相機(jī)具有高分辨率、高動(dòng)態(tài)范圍以及良好的時(shí)間分辨率。
EUV和VUV相機(jī)提供現(xiàn)代脈沖等離子體放電EUV光源所必需的的高分辨率（通常狀況下低至小于10微米），高動(dòng)態(tài)范圍（12-16位），以及良好的時(shí)間分辨率（降至微秒范圍）。
該相機(jī)可以從全分辨率高達(dá)13fps本地的EUV光源獲得單次或者是同步多次拍攝影像。
可以根據(jù)對(duì)靈活性的需要來(lái)選擇具體的版本，例如空白掩模、來(lái)源、光學(xué)特性等。
該相機(jī)的靈敏度可以從13.5nm擴(kuò)展到0.0135nm，能夠使其方便地用于檢測(cè)多種特征譜線(xiàn)。
深度的制冷允許其暗電流降至低于00.005電子/像素/秒，對(duì)于非常弱的信號(hào)需要長(zhǎng)時(shí)間曝光。
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